AKT推出全新8.5代面板PVD生產設備鎖定韓國、台灣廠商洽談
電子時報  韓青秀/台北

友達日前宣布,最慢會在2007年底前決定興建次世代面板廠的尺寸,考慮跨入8代以上面板廠,大尺寸面
板動向備受矚目,應用材料公司平面顯示器生產設備子公司AKT表示推出全新AKT-PiVot 55KV PVD系統,
將專供於第8.5代的生產設備,目前正和LPL展開洽談,台灣面板廠商也進入測試階段。

應用材料AKT顯示器事業群總經理姜仁斗表示,如何不斷降低面板的製造成本,尤其是材料與設備成本,
將成為大尺寸LCD 電視市場的成長關鍵,相較於其他同類型產品,PiVot不僅大幅縮短製程所需時間,並
將靶材利用率提高將近3倍,利用率達到75%。

目前夏普、三星、LPL先後宣布將蓋8代廠,友達、奇美電也審慎評估中,50吋以上面板需求逐步展開。
AKT表示,為提供大面積PVD製程的低營運成本解決方案,新設備採用獨家研發的旋轉靶材技術,將可造
就一套高產能及低風險PVD系統。

AKT在日本橫濱所舉辦的2007年國際平面顯示器大展,展出包括AKT-PiVot 55KV PVD在內的一系列面板製
造設備。AKT指出,由於全新的AKT-PiVot 55KV PVD系統,是專供於第8.5代玻璃基板上沉積金屬與TCO材
料層,每1個沉積模組都是採用陣列式的大量旋轉靶材,其壽命比傳統的平面式靶材高出4倍以上,此外
,其沉積模組具有的濺鍍準備作業裝置,僅需1片基板便可完成靶材處理作業,客戶不需再像過去一樣,
花費多達50塊基板來完成相同的工作。
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